Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

MIKROMECHANISCHES BAUELEMENT MIT SCHWINGKOERPER

 
: Schenk, H.; Duerr, P.; Kueck, H.

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DE 1998-19849725 A: 19981028
EP 1998-965838 A: 19981215
EP 1123526 B1: 20020724
G02B0026
German
Patent, Electronic Publication
Fraunhofer IPMS ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-75564.html