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Title
Oberflaechenwellenfluessigkeitssensor
Date Issued
2002
Author(s)
Leidl, A.
Langer, P.
Drost, A.
Patent No
2000-10065692
Abstract
Ein Oberflaechenwellensensor zum Messen physikalischer Groessen von Fluessigkeiten umfasst ein piezoelektrisches Substrat, eine erste Elektrodenstrukur und eine zweite Elektrodenstruktur, eine isolierende Zwischenschicht und eine Leiterstruktur. Die erste Elektrodenstruktur und die zweite Elektrodenstrukutur sind auf der Oberflaeche des piezoelektrischen Substrats voneinander beabstandet angeordnet, wobei die erste Elektrodenstruktur eine Oberflaechenwelle erzeugt und die zweite Elektrodenstruktur dieselbe empfaengt. Die isolierende Zwischenschicht ist zumindest ueber Bereiche der ersten Elektrodenstruktur und der zweiten Elektrodenstruktur angeordnet. Die Leiterstruktur ist ferner auf dem piezoelektrischen Substrat angeordnet und ueber die isolierende Zwischenschicht von der ersten Elektrodenstruktur und von der zweiten Elektrodenstruktur beabstandet, wobei die Leiterstruktur eine elektrische Kopplung von der ersten Elektrodenstruktur und von der zweiten Elektrodenstruktur sowie von der Oberflaechenwelle auf die zu messende Fluessigkeit unterdrueckt.
DE 10113778 A UPAB: 20020910 NOVELTY - Surface acoustic wave sensor comprises a piezoelectric substrate (1); a first electrode structure (2a) and a second electrode structure (2b) arranged on the substrate; an insulating intermediate structure (8) arranged on regions of the first electrode structure and the second electrode structure; and a conductor (9) arranged on the substrate and spaced from the electrode structures via the intermediate structure. The first electrode structure produces a surface acoustic wave and the second electrode structure receives it. DETAILED DESCRIPTION - An INDEPENDENT CLAIM is also included for a process for the production of the surface acoustic wave sensor. Preferred Features: The conductor is formed as a conducting layer. The intermediate layer is formed as a dielectric layer or an air layer. A passivating layer (10) is formed on the conductor. USE - Used for measuring the physical parameters of liquids. ADVANTAGE - The sensor has long term stability.
Language
de
Patenprio
DE 2000-10065692 A1: 20001229