Publica
Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
Characterization hydrocarbon plasma used for a-C-H deposition
:
Bubenzer, A.
;
Koidl, P.
;
Wagner, J.
;
Wild, C.
Coburn, J.W. ; Materials Research Society -MRS-:
Plasma processing. Symposium
Pittsburgh/Pa., 1986 (Materials Research Society symposia proceedings 68)
pp.205-210 : Abb.,Lit.
Symposium on Plasma Processing <1986, Palo Alto/Calif.>
English
Conference Paper
Fraunhofer IAF
(
)
amorpher Kohlenstoff
;
harter Kohlenstoff
;
Plasmaabscheidung
;
Plasmacharakterisierung
:
http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-7471.html
