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Fraunhofer-Gesellschaft
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  4. Characterization hydrocarbon plasma used for a-C-H deposition
 
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1986
Conference Paper
Title

Characterization hydrocarbon plasma used for a-C-H deposition

Author(s)
Bubenzer, A.
Koidl, P.
Fraunhofer-Institut für Angewandte Festkörperphysik IAF  
Wagner, J.
Wild, C.
Fraunhofer-Institut für Angewandte Festkörperphysik IAF  
Mainwork
Plasma processing. Symposium  
Conference
Symposium on Plasma Processing 1986  
Language
English
Fraunhofer-Institut für Angewandte Festkörperphysik IAF  
Keyword(s)
  • amorpher Kohlenstoff

  • harter Kohlenstoff

  • Plasmaabscheidung

  • Plasmacharakterisierung

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