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Konferenzschrift
Characterization hydrocarbon plasma used for a-C-H deposition
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1986
Conference Paper
Title
Characterization hydrocarbon plasma used for a-C-H deposition
Author(s)
Bubenzer, A.
Koidl, P.
Fraunhofer-Institut für Angewandte Festkörperphysik IAF
Wagner, J.
Wild, C.
Fraunhofer-Institut für Angewandte Festkörperphysik IAF
Mainwork
Plasma processing. Symposium
Conference
Symposium on Plasma Processing 1986
Language
English
Fraunhofer-Institut für Angewandte Festkörperphysik IAF
Keyword(s)
amorpher Kohlenstoff
harter Kohlenstoff
Plasmaabscheidung
Plasmacharakterisierung