Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Characterization hydrocarbon plasma used for a-C-H deposition

 
: Bubenzer, A.; Koidl, P.; Wagner, J.; Wild, C.

Coburn, J.W. ; Materials Research Society -MRS-:
Plasma processing. Symposium
Pittsburgh/Pa., 1986 (Materials Research Society symposia proceedings 68)
pp.205-210 : Abb.,Lit.
Symposium on Plasma Processing <1986, Palo Alto/Calif.>
English
Conference Paper
Fraunhofer IAF ()
amorpher Kohlenstoff; harter Kohlenstoff; Plasmaabscheidung; Plasmacharakterisierung

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-7471.html