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1995
Conference Paper
Titel
CDM-Testervergleich anhand eines Monitor-Schaltkreises
Abstract
Die Erfahrung bei Entwicklung und Test von ESD-Schutzkonzepten für Integrierte Schaltungen zeigten komplexe Wechselwirkungen zwischen Schutzelement, zu schützender Schaltung, Technologie und dem ESD-Tester. Besonders im für das "Charged Device Model" (CDM) relevanten Zeitbereich von einigen hundert Picosekunden ergeben sich bei der Interpretation der Ergebnisse große Probleme. Um einen Teil der oben erwähnten Wechselwirkungen zu entkoppeln, wird ein CDM-Monitor Schaltkreis eingeführt. Hauptanwendungsgebiet für diesen Monitor soll die Optimierung von Schutzelementen und Schutzkonzepten sein. Durch seinen einfachen Aufbau kann dieser CDM-Monitor auch einen Beitrag zur Standardisierung von CDM-Testern liefern. In der hier vorgestellten Studie wird der CDM-Monitor mit zwei prinzipiell unterschiedlichen CDM-Testern belastet und die elektrische und physikalische Fehlersignatur miteinander verglichen. Bei der CDM-Belastung der Monitorschaltkreise kann sowohl der Einfluß der Charakteristik des Schutzelements als auch der Hintergrundkapazität auf die Ausfallschwelle und das Fehlerbild gezeigt werden. Die Hochstromcharakterisierung und die Untersuchung des Ansprechverhaltens der betreffenden Strukturen helfen bei der Interpretation der CDM-Ergebnisse.
Konferenz
Language
German