Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Verfahren zum Abscheiden einer Polymerschicht und Verwendung derselben

	DE 2000-10017846 A: 20000411
	DE 2000-10017846 A: 20000411 WO 2001-EP4108 A: 20010410 EP 2001-927907 A: 20010410
	DE 10017846 C2: 20020314 EP 1272286 B1: 20040317
	C23C0014 B05D0007

	German
	Patent, Electronic Publication
	Fraunhofer IST ()