Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Verfahren zum Abscheiden einer Polymerschicht und Verwendung derselben

 
: Thyen, R.; Klaeke, N.; Hoepfner, K.; Klages, C.

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DE 2000-10017846 A: 20000411
DE 2000-10017846 A: 20000411
WO 2001-EP4108 A: 20010410
EP 2001-927907 A: 20010410
DE 10017846 C2: 20020314
EP 1272286 B1: 20040317
C23C0014
B05D0007
German
Patent, Electronic Publication
Fraunhofer IST ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-72771.html