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Fraunhofer-Gesellschaft
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  4. Verfahren zum Abscheiden einer Polymerschicht und Verwendung derselben
 
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Patent
Title

Verfahren zum Abscheiden einer Polymerschicht und Verwendung derselben

Inventor(s)
Thyen, R.
Klaeke, N.
Hoepfner, K.
Klages, C.
Link to Espacenet
http://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?DB=worldwide.espacenet.com&locale=en_EP&FT=D&CC=DE&NR=10017846A
Patent Number
2000-10017846
Publication Date
2004
Language
German
Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik IST  
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