Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Palladiumhaltiges Precursormaterial und Verfahren zur Herstellung von metallischen Mikrostrukturen auf dielektrischen Substraten mit einem palladiumhaltigen Precursormaterial

 
: Toepper, M.; Stolle, T.; Krabe, D.; Chmiel, G.; Schammler, G.; Reichl, H.

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DE 1995-19507813 A1: 19950306
DE 1995-19518512 A: 19950519
DE 19518512 C2: 20011129
G03F0007
German
Patent, Electronic Publication
Fraunhofer IZM ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-72762.html