• English
  • Deutsch
  • Log In
    Password Login
    Research Outputs
    Fundings & Projects
    Researchers
    Institutes
    Statistics
Repository logo
Fraunhofer-Gesellschaft
  1. Home
  2. Fraunhofer-Gesellschaft
  3. Patente
  4. Verfahren und Vorrichtung zum Vereinzeln von scheibenfoermigen Substraten, insbesondere zur Waferherstellung
 
  • Details
Options
Patent
Title

Verfahren und Vorrichtung zum Vereinzeln von scheibenfoermigen Substraten, insbesondere zur Waferherstellung

Inventor(s)
Guethenke, G.
Sinhoff, V.
Berton, F.
Schmidt, C.
Link to Espacenet
http://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?DB=worldwide.espacenet.com&locale=en_EP&FT=D&CC=DE&NR=19900671A
Patent Number
1999-19900671
Publication Date
2002
Language
German
Fraunhofer-Institut für Produktionstechnologie IPT  
  • Cookie settings
  • Imprint
  • Privacy policy
  • Api
  • Contact
© 2024