Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Verfahren und Vorrichtung zum Vereinzeln von scheibenfoermigen Substraten, insbesondere zur Waferherstellung

 
: Guethenke, G.; Sinhoff, V.; Berton, F.; Schmidt, C.

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DE 1999-19900671 A: 19990111
DE 1999-19900671 A: 19990111
DE 19900671 C2: 20020425
H01L0021
German
Patent, Electronic Publication
Fraunhofer IPT ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-72760.html