Publica

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Verfahren und Einrichtung zur pulsfoermigen Energiezufuehrung fuer ein Niederdruckplasma und deren Anwendung

	DE 1999-19937621 A: 19990810
	DE 1999-19937621 A: 19990810
	DE 19937621 C2: 20010913
	H05H0001

	German
	Patent, Electronic Publication
	Fraunhofer FEP ()