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Patent
Title

Verfahren und Einrichtung zur pulsfoermigen Energiezufuehrung fuer ein Niederdruckplasma und deren Anwendung

Inventor(s)
Frach, P.
Goedicke, K.
Junghaehnel, M.
Kirchhoff, V.
Winkler, T.
Handt, K.
Link to Espacenet
http://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?DB=worldwide.espacenet.com&locale=en_EP&FT=D&CC=DE&NR=19937621A
Patent Number
1999-19937621
Publication Date
2001
Language
German
Fraunhofer-Institut für Organische Elektronik, Elektronenstrahl- und Plasmatechnik FEP  
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