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Verfahren zur Erkennung von Ueberschlaegen in gepulst betriebenen Plasmen

Recognizing flashovers in pulsed plasmas in vacuum comprises measuring ignition voltage of plasma discharge, and comparing measured value with value of ignition voltage for normal plasma discharge.
 
: Krause, U.; Schulze, M.; Kopte, T.; Kirchhoff, V.

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DE 2000-10034895 A: 20000718
DE 2000-10034895 A: 20000718
DE 10034895 C2: 20021114
H05H0001
German
Patent, Electronic Publication
Fraunhofer FEP ()

Abstract
In gepulst betriebenen Plasmen bei vakuumtechnischen Prozessen, vorzugsweise in Zerstaeubungsprozessen, treten Ueberschlaege auf, die sich auf den Prozess negativ auswirken. Besonders ist es nachteilig bei Beschichtungsprozessen. Diese Ueberschlaege sollen mit hoher Genauigkeit fruehzeitig erkannt werden, um bekannte Massnahmen einzuleiten, damit die Auswirkungen gering, moeglichst vermieden werden. Erfindungsgemaess wird die Zuendspannung der Plasmaentladung gemessen und dieser Wert mit dem einer normal verlaufenden Zuendspannung verglichen. Aus der Differenz beider Werte werden in bekannter Weise Massnahmen zur Verhinderung von Stoerungen eingeleitet. Bevorzugtes Anwendungsgebiet sind Zerstaeubungsprozesse im Vakuum (Sputtern), um Oberflaechen von Bauteilen, Werkzeugen, Glas zu beschichten oder zu behandeln.

 

DE 10034895 A UPAB: 20020621 NOVELTY - Recognizing flashovers in pulsed plasmas in a vacuum comprises measuring the ignition voltage of the plasma discharge; comparing the measured value with the value of ignition voltage for a normal plasma discharge; and using the difference between the two values to recognize a flashover. DETAILED DESCRIPTION - Preferred Features: The actual value of the ignition voltage is compared with the ignition voltage in a half-wave of the same or different polarity. USE - Used in sputtering processes. ADVANTAGE - The process is quick and accurate.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-72744.html