Fraunhofer-Gesellschaft

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The capacative coupling error and the capacitive coupling cross talk in electron beam testing of passivated IC and measures for their reduction

 
: Herrmann, K.D.; Kubalek, E.; Lackmann, R.; Mertin, W.; Zimmer, G.; Weichert, G.

Microelectronic engineering 12 (1990), pp.349-357
ISSN: 0167-9317
European Conference on Electron and Optical Beam Testing of Integrated Circuits <2, 1989, Duisburg>
German
Conference Paper
Fraunhofer IMS ()
Elektronenstrahltest; kapazitiver Kopplungsfehler; kapazitiver Potentialkontrast; kapazitives Übersprechen; Korrekturverfahren

Abstract
Zur Fehleranalyse in passivierten integrierten Schaltungen wird in zunehmendem Maße der Elektronenstrahltest mittels kapazitiven Potentialkontrastes eingesetzt. Zwei der wichtigsten hierbei auftretenden Fehler, der kapazitive Kopplungsfehler und das kapazitive Übersprechen, sowie Maßnahmen zur Reduktion dieser Fehler werden diskutiert. Im Besonderen wird auf ein Verfahren zur Fehlerkorrektur bei passivierten Schaltungen näher eingegangen, zu dem erstmalig Messergebnisse vorgelegt werden können. Weiterhin wird die Anwendbarkeit dieses Verfahrens in der Praxis untersucht.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-7223.html