• English
  • Deutsch
  • Log In
    Password Login
    Research Outputs
    Fundings & Projects
    Researchers
    Institutes
    Statistics
Repository logo
Fraunhofer-Gesellschaft
  1. Home
  2. Fraunhofer-Gesellschaft
  3. Konferenzschrift
  4. Bruchmechanische Analysen an MEMS-Strukturen
 
  • Details
  • Full
Options
1994
Conference Paper
Title

Bruchmechanische Analysen an MEMS-Strukturen

Abstract
Es wurden Methoden und Erfahrungen bei der Ermittlung der Spannungsverteilung bzw. der Maximalspannung und bei der damit verbundenen Bruchspannungsanalyse dargelegt. Insbesondere wurde der Einfluß der Gestaltung und Vernetzung von Ecken und Kanten auf lokale Spannungsüberhöhungen und die Möglichkeiten der "submodeling"-Technik zwischen Balken- und "solid"-Elementen diskutiert. Zur effektiveren Durchführung von Spannungsanalysen wurde eine Methode des "submodeling" für Balkenelemente abgeleitet, verifiziert und angewendet. Die Methode wurde an einem Anwendungsbeispiel demonstriert.
Author(s)
Erlebach, A.
Mainwork
12. CAD-FEM Users' Meeting '94. Proceedings  
Conference
CAD-FEM Users' Meeting 1994  
Language
German
IMS2  
Keyword(s)
  • Bruchmechanik

  • Finite-Elemente-Methode (FEM)

  • Krümmung

  • mechanische Spannung

  • Mikrosystemtechnik

  • Cookie settings
  • Imprint
  • Privacy policy
  • Api
  • Contact
© 2024