Bruchmechanische Analysen an MEMS-Strukturen

Es wurden Methoden und Erfahrungen bei der Ermittlung der Spannungsverteilung bzw. der Maximalspannung und bei der damit verbundenen Bruchspannungsanalyse dargelegt. Insbesondere wurde der Einfluß der Gestaltung und Vernetzung von Ecken und Kanten auf lokale Spannungsüberhöhungen und die Möglichkeiten der "submodeling"-Technik zwischen Balken- und "solid"-Elementen diskutiert. Zur effektiveren Durchführung von Spannungsanalysen wurde eine Methode des "submodeling" für Balkenelemente abgeleitet, verifiziert und angewendet. Die Methode wurde an einem Anwendungsbeispiel demonstriert.