Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Braucht die Mikrosystemtechnik die Reinraumtechnik?

 
: Klumpp, B.; Dorner, J.

F und M. Feinwerktechnik, Mikrotechnik, Meßtechnik 102 (1994), No.10, pp.494-496
ISSN: 0944-1018
German
Journal Article
Fraunhofer IPA ()
Mikrosystem; Mikrosystemtechnik; Reinraumtechnik

Abstract
Mehr und mehr technologische Produkte, Fertigungsabläufe und Verfahren setzen ein reines Umfeld voraus, um aus technischer Sicht produzierbar zu sein sowie Qualitätsverbesserungen zu erzielen. Demzufolge wird die Reinraumtechnik für zunehmend mehr Produkte und Verfahren als Produktionsumfeld eingesetzt.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-6907.html