Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Boron carbonitride thin films by PACVD of single source percursors

 

:

Chemical vapor deposition: CVD 3 (1997), No.5, pp.257-262
ISSN: 0948-1907
ISSN: 1521-3862
English
Journal Article
Fraunhofer IGB ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-6883.html