Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Bistabiler Mikroantrieb mit gekoppelten Membranen

 
: Wagner, B.; Quenzer, H.J.

:
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DE 1996-19604818 A: 19960210
DE 1996-19637928 A: 19960917
EP 1997-904396 AW: 19970210
WO 1997-EP575 A: 19970210
DE 19637928 C2: 19990114
EP 880817 B1: 20050427
DE 69733125 T2: 20060302
F04B0043
H02N0001
German
Patent, Electronic Publication
Fraunhofer ISIT ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-6779.html