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Patente
Bistabiler Mikroantrieb mit gekoppelten Membranen
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Title
Bistabiler Mikroantrieb mit gekoppelten Membranen
Date Issued
2006
Author(s)
Wagner, B.
Quenzer, H.J.
Patent No
1996-19604818
1996-101948
Language
de
Institute
Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie ISIT
Link
http://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?DB=worldwide.espacenet.com&locale=en_EP&FT=D&CC=DE&NR=19637928A
Patenprio
DE 1996-19604818 A: 19960210