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Vorrichtung zum kontaminationsfreien, kontinuierlichen oder getakteten Transport von scheibenfoermigen Gegenstaenden, insbesondere Substraten oder Wafern, durch eine geschlossene Behandlungsstrecke
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Title
Vorrichtung zum kontaminationsfreien, kontinuierlichen oder getakteten Transport von scheibenfoermigen Gegenstaenden, insbesondere Substraten oder Wafern, durch eine geschlossene Behandlungsstrecke
Date Issued
2000
Author(s)
Schmutz, W.
Gentischer, J.
Preu, R.
Moeller, R.
Guethenke, G.
Schweitzer, G.
Patent No
1998-19857142
Language
de
Institute
Fraunhofer-Institut fĂĽr Produktionstechnologie IPT
Link
http://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?DB=worldwide.espacenet.com&locale=en_EP&FT=D&CC=DE&NR=19857142A
Patenprio
DE 1998-19857142 A: 19981211