Publica
Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten. Vorrichtung zum kontaminationsfreien, kontinuierlichen oder getakteten Transport von scheibenfoermigen Gegenstaenden, insbesondere Substraten oder Wafern, durch eine geschlossene Behandlungsstrecke
| DE 1998-19857142 A: 19981211 |
| DE 1998-19857142 A: 19981211 |
| DE 19857142 C2: 20001221 |
| B65G0049 |
|
| German |
| Patent, Electronic Publication |
| Fraunhofer IPT () |