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Konferenzschrift
Bestimmung mechanischer Spannungen in Mikrosystemen mit röntgendiffraktometrischen Verfahren
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1994
Conference Paper
Titel
Bestimmung mechanischer Spannungen in Mikrosystemen mit röntgendiffraktometrischen Verfahren
Author(s)
Kämpfe, B.
Hauptwerk
Deutsche ISHM-Konferenz '94. Tagungsband
Konferenz
Deutsche ISHM-Konferenz 1994
Language
German
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Fraunhofer-Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration IZM