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Sensoranordnung und Verfahren zur Herstellung

Sensor, for measuring pressure, flow, force or pressure-dependent parameters, has a cavity of cross-sectional contour which includes inwardly offset line sections in the regions of transducer elements.
 
: Faul, R.

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DE 1998-19855729 A1: 19981203
DE 1999-19914728 A: 19990331
DE 19914728 A1: 20000629
G01L0009
German
Patent, Electronic Publication
Fraunhofer IZM ()

Abstract
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Sensoranordnung zur Messung des Druckes oder von Messgroessen, die sich aus der Erfassung eines Druckes ableiten lassen, sowie ein Verfahren zur Herstellung der Sensoranordnung. Die Sensoranordnung besteht aus zwei miteinander verbundenen Substraten oder Substratschichten, zwischen denen ein Hohlraumgebiet ausgebildet ist. Zur Erfassung einer Durchbiegung oder einer Spannung der Schicht ueber dem Hohlraum sind ein oder mehrere Wandlerelemente vorgesehen. Die Querschnittskontur des Hohlraumgebiets weist erfindungsgemaess einen oder mehrere voneinander beabstandete erste Linienzuege auf, die die Einhuellende der Querschnittskontur nicht beruehren, wobei die Wandlerelemente im Bereich der ersten Linienzuege angeordnet sind. Dieser Sensoraufbau ermoeglicht bei der Fertigung des Sensors in kostenguenstiger Weise eine Anpassung der Sensoreigenschaften an unterschiedliche Anforderungen.

 

DE 19914728 A UPAB: 20000811 NOVELTY - A sensor structure, comprising a cavity of cross-sectional contour including inwardly offset line sections (5a-d) in the regions of transducer elements, is new. DETAILED DESCRIPTION - A sensor structure comprises a substrate consisting of one or more first layers bonded to a second layer, a cavity formed by the structured substrate and/or second layer and one or more transducer elements located on or in the second layer for detecting bending or mechanical stress of the second layer. The cross-sectional contour of the cavity is formed by one or more spaced-apart first line sections (5a-d) which do not contact the outer contour envelope and which are connected by one or more second line sections (6a-d) to form a continuous line, the or each transducer element being located in the region of a first line section. An INDEPENDENT CLAIM is also included for production of the above sensor structure. USE - For measuring pressure, flow, force or pressure-dependent parameters, e.g. in automobile, measurement and control, medical and machine applications. ADVANTAGE - The sensor properties can be adapted to various requirements, e.g. increased sensitivity, in a simple manner by suitable choice of the cavity contour below the sensor membrane without complete alteration of the production process.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-63629.html