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Verfahren zum Beschichten von Magnetspeicherplatten und danach hergestellte Magnetspeicherplatte

Method for producing thin film coated magnetic disk used for magnetic storage involves applying a barrier layer between the substrate and the first base coat by magnetron sputtering at specified frequency and pulse length to pulse gap ratio.
 
: Buchberger, H.; Mueller, M.; Schneider, H.; Baur, H.; Lehnert, K.; Goedicke, K.; Winkler, T.; Junghaehnel, M.; Bluethner, R.

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DE 1998-19851062 A: 19981105
DE 1998-19851062 A: 19981105
EP 1999-118152 A: 19990911
DE 19851062 C1: 20000615
EP 999291 B1: 20040526
DE 69917561 T2: 20050804
C23C0014
C23C0014
German
Patent, Electronic Publication
Fraunhofer FEP ()

Abstract
Die bekannten Verfahren, mit denen auf das Substrat eine Unterschicht, darauf das Magnetschichtsystem und abschliessend eine Deckschicht aufgebracht wird, haben den Nachteil, dass die Korrosionsbestaendigkeit nicht ausreichend ist. Es treten Fehlstellen auf. Es wird nicht ausgeschlossen, dass die Diffusion von Wasser zum Substrat moeglich ist. Erfindungsgemaess wird zwischen dem Substrat und der Unterschicht eine Barriereschicht durch Mittelfrequenzpulssputtern bei einer Frequenz von 10 bis 200 kHz und einem Verhaeltnis von Pulslaenge zu Pulspause von 5 : 1 bis 1 : 10 aufgebracht. Die Erfindung findet vorzugsweise fuer magnetische Festspeicherplatten hoher Speicherdichte Anwendung.

 

EP 999291 A UPAB: 20000617 NOVELTY - A barrier layer is applied between the substrate and the first base coat of the series of coatings by magnetron sputtering at a frequency of 10 - 200 kHz, preferably 50 kHz with a pulse length to pulse gap ratio in the region of 5:1 to 1:10. DETAILED DESCRIPTION - Method of coating thin film magnetic disks by magnetron sputtering, comprising a substrate onto which a series of coatings consisting of a base coat, magnetic coats, intermediate coats in the case where there are a number of magnetic coats and a top coat are applied involves applying a barrier layer between the substrate and the first base coat of the series of coatings by magnetron sputtering at a frequency of 10 - 200 kHz, preferably 50 kHz with a pulse length to pulse gap ratio in the region of 5:1 to 1:10. USE - Thin film magnetic disk has high storage density and is used as hard magnetic disk. ADVANTAGE - Thin film magnetic disk has improved corrosion resistance.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-63529.html