Verfahren zur Ueberwachung einer Wechselspannungs-Entladung an einer Doppelelektrode

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Ueberwachung einer Wechselspannungs-Entladung zwischen den Elektroden einer Doppelelektrode, insbesondere zwischen zwei Targets (1, 2) fuer die Kathodenzerstaeubung, bei dem der Entladungsstrom und/oder die Entladungsspannung jeder der beiden Halbwellen innerhalb einer Periode der Wechselspannungs-Entladung gemessen wird bzw. werden und die Differenz zwischen den jeweiligen Messwerten der zweiten Halbwelle und den entsprechenden Messwerten der ersten Halbwelle mit spezifischen Toleranzvorgaben verglichen wird und bei Ueberschreitung der Toleranzvorgaben die Energiezufuhr derart abgesenkt wird, dass die Entladung kurzzeitig erlischt.

DE 19848636 A UPAB: 20000712 NOVELTY - The discharge current and/or voltage of each of two half-waves within a period of the AC voltage discharge is measured, and the difference between the measured values for the second half-wave and those for the first half-wave are compared with tolerance standards. If the tolerance standards are exceeded, the supply of power is reduced so the discharge momentarily extinguishes. USE - For sputter coating apparatus. ADVANTAGE - Safely prevents the discharge state from progressing from abnormal glow discharge to arc discharge.