Optisches Element mit transparenter, kratzfester Beschichtung, Verfahren und Vorrichtung zu seiner Herstellung sowie dessen Verwendung

Die Erfindung betrifft ein optisches Element mit transparenter, kratzfester Beschichtung sowie ein Verfahren und eine Vorrichtung zu seiner Herstellung und moegliche Verwendungen des optischen Elementes. Mit der Erfindung soll die Haftung einer kratzfesten, transparenten Oberflaechenbeschichtung auf optischen Elementen verbessert werden. Hierfuer wird auf einer Substratoberflaeche ein Interferenzschichtsystem fuer Licht mindestens einer vorgebbaren Wellenlaenge aufgebracht, das zumindest aus einer haftungsverbessernden und mindestens einer aus diamantaehnlichem Kohlenstoff bestehenden Schicht gebildet wird.

DE 19838826 A UPAB: 20000516 NOVELTY - An optical component, with a transparent scratch-resistant coating comprising an interference layer system of adhesion promoting and diamond-like carbon layers, is new. DETAILED DESCRIPTION - INDEPENDENT CLAIMS are also included for the following: (i) a process for producing the above optical component; and (ii) an apparatus for producing the above optical component. Preferred Features: The substrate consists of or is coated with pure Cu, Al, Ag or Au or consists of ZnS, Ge, ZnSe, NaCl, KCl, KBr, CaF2, Al2O3 or MgF2. The adhesion promoting layer consists of Al and/or Al2O3 or of Si, Mo, Ni, W, Zr, Ti, Mg, Hf, Ta, Be, Th or compounds. USE - As a laser mirror or as a window or a focussing or de-focussing optic (claimed), e.g. a copper mirror used for CO2 laser beam shaping, deflecting and focusing. ADVANTAGE - Coating has good adhesion and high surface hardness, is applied without significant substrate heating and can have a reflectivity identical to that of a pure copper surface.