Fraunhofer-Gesellschaft

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Verfahren zur Herstellung von resonanten Filtern

Resonant filter production, e.g. for thermovoltaic applications.
 
: Heinzel, A.; Gombert, A.; Wittwer, D.; Zanke, C.; Boerner, V.

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DE 1998-19816574 A: 19980407
DE 1998-19816574 A: 19980407
WO 1999-EP2367 A: 19990406
EP 1999-919211 AW: 19990406
DE 19816574 C2: 20000413
EP 1070268 B1: 20030102
G03F0007
G02B0005
German
Patent, Electronic Publication
Fraunhofer ISE ()

Abstract
(A1) Es wird ein Verfahren zur Herstellung von resonanten Filtern vorgeschlagen, das die folgenden Schritte aufweist: Beschichten eines fuer einen gewuenschten Wellenlaengenbereich transparenten Substrats mit einem duennen Metallfilm; Aufbringen eines Photoresists auf den duennen Metallfilm; holographisches Belichten des Photoresists mit periodischen Strukturelementen und Entwickeln des Photoresists; Abaetzen des freiliegenden Metallfilms entsprechend dem vorgegebenen Muster, wobei der verbleibende Photoresist als Aetzmaske wirkt, und Entfernen des verbleibenden Photoresists.

 

WO 9952001 A UPAB: 19991221 NOVELTY - The method involves coating a substrate, which is transparent for a desired range of wavelengths, with a thin metal film; applying a photoresist to the film; holographically exposing the photoresist with periodic structure elements and developing the photoresist; etching the exposed metal film according to the predefined pattern, whereby the remaining photoresist acts as a photomask, and removing the residual photoresist. DETAILED DESCRIPTION - An INDEPENDENT CLAIM is also included for a resonant filter. USE - For producing resonant filters, e.g. for thermovoltaic applications. ADVANTAGE - The method is more cost-effective than conventional methods and enables filters with large areas to be produced.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-63342.html