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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten. Das Beschichten großer Flächen mit hohen Raten
| Schiller, S.; Arnold, A.; Wünsche, M. ; Fraunhofer-Institut für Elektronenstrahl- und Plasmatechnik -FEP-, Dresden:
Fraunhofer-Institut für Elektronenstrahl- und Plasmatechnik. Jahresbericht 1996
Dresden: FEP, 1997
pp.18-22 : Ill. |
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