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Untersuchungen zur Mikrolithographie für hochintegrierte Halbleiterbauelemente am Berliner Speicherring für Synchrotronstrahlung

	Physik in unserer Zeit 13 (1982), 21 pp. : Abb.,Tab.,Lit. ISSN: 0031-9252 ISSN: 1521-3943

	German
	Journal Article
	Fraunhofer IFT; 2000 dem IZM eingegliedert
	Höchstintegration; Röntgenstrahlung; Speicherring; Synchrotronstrahlung