Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Untersuchungen zur Mikrolithographie für hochintegrierte Halbleiterbauelemente am Berliner Speicherring für Synchrotronstrahlung

 
: Heuberger, A.

Physik in unserer Zeit 13 (1982), 21 pp. : Abb.,Tab.,Lit.
ISSN: 0031-9252
ISSN: 1521-3943
German
Journal Article
Fraunhofer IFT; 2000 dem IZM eingegliedert
Höchstintegration; Röntgenstrahlung; Speicherring; Synchrotronstrahlung

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-58559.html