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Abschlussarbeit
Untersuchungen der optischen Plasma-Emission beim reaktiven Magnetronsputtern und ihre Anwendung bei der Schichtbildung
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1997
Doctoral Thesis
Title
Untersuchungen der optischen Plasma-Emission beim reaktiven Magnetronsputtern und ihre Anwendung bei der Schichtbildung
Thesis Note
Magdeburg, Univ., Diss., 1997
Author(s)
Kirchhoff, V.
Language
German
Fraunhofer-Institut für Organische Elektronik, Elektronenstrahl- und Plasmatechnik FEP
Keyword(s)
Magnetronsputtern
Plasmadiagnostik
Schichtwachstum