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Fraunhofer-Gesellschaft
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  4. Untersuchungen der optischen Plasma-Emission beim reaktiven Magnetronsputtern und ihre Anwendung bei der Schichtbildung
 
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1997
Doctoral Thesis
Title

Untersuchungen der optischen Plasma-Emission beim reaktiven Magnetronsputtern und ihre Anwendung bei der Schichtbildung

Thesis Note
Magdeburg, Univ., Diss., 1997
Author(s)
Kirchhoff, V.
Language
German
Fraunhofer-Institut für Organische Elektronik, Elektronenstrahl- und Plasmatechnik FEP  
Keyword(s)
  • Magnetronsputtern

  • Plasmadiagnostik

  • Schichtwachstum

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