Publica
Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
Untersuchungen der optischen Plasma-Emission beim reaktiven Magnetronsputtern und ihre Anwendung bei der Schichtbildung
:
Kirchhoff, V.
Magdeburg, 1997, V, 87 pp. : Ill.
Magdeburg, Univ., Diss., 1997
German
Dissertation
Fraunhofer FEP
(
)
Magnetronsputtern
;
Plasmadiagnostik
;
Schichtwachstum
:
http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-58473.html