Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Untersuchungen der optischen Plasma-Emission beim reaktiven Magnetronsputtern und ihre Anwendung bei der Schichtbildung

 
: Kirchhoff, V.

Magdeburg, 1997, V, 87 pp. : Ill.
Magdeburg, Univ., Diss., 1997
German
Dissertation
Fraunhofer FEP ()
Magnetronsputtern; Plasmadiagnostik; Schichtwachstum

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-58473.html