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Untersuchungen der optischen Plasma-Emission beim reaktiven Magnetronsputtern und ihre Anwendung bei der Schichtbildung

	Magdeburg, 1997, V, 87 pp. : Ill. Magdeburg, Univ., Diss., 1997

	German
	Dissertation
	Fraunhofer FEP ()
	Magnetronsputtern; Plasmadiagnostik; Schichtwachstum