Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Untersuchung des Einflusses von Gitterleerstellen auf die Sauerstoffpräzipitation in Silicium mit Hilfe der Platindiffusion

 
: Jacob, M.
: Ryssel, H.

Aachen: Shaker, 1997, 129 pp. : Ill.
Zugl.: Erlangen-Nürnberg, Univ., Diss., 1996
Erlanger Berichte Mikroelektronik, 97,2
ISBN: 3-8265-2225-7
German
Dissertation
Fraunhofer IIS B ( IISB) ()
diffusion; Fällung; Gitterbaufehler; Platin; Sauerstoff; silicium

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-58416.html