Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Trockenätzverfahren für die Herstellung von monolithisch integrierten optoelektronischen Schaltkreisen

 
: Daleiden, J.

Aachen: Shaker, 1997, III, 155 pp. : Ill.
Zugl.: Aachen, TH, Diss., 1996
Berichte aus der Elektrotechnik
ISBN: 3-8265-2406-3
German
Dissertation
Fraunhofer IAF ()
CAIBE; GaAs; Halbleiterlaser; InP; Trockenätzen

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-58164.html