Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Technologie zur Herstellung modulationsdotierter Feldeffekttransistoren -MODFETs- unter Verwendung der Elektronenstrahl-Lithographie

 
: Hülsmann, A.

München, 1994, 132 pp.
München, Univ., Diss., 1994
German
Dissertation
Fraunhofer IAF ()
Elektronenstrahl; GaAs-Technologie; HEMT; Lithographie; MMIC; MODFET

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-57719.html