Publica
Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
Technologie zur Herstellung modulationsdotierter Feldeffekttransistoren -MODFETs- unter Verwendung der Elektronenstrahl-Lithographie
:
Hülsmann, A.
München, 1994, 132 pp.
München, Univ., Diss., 1994
German
Dissertation
Fraunhofer IAF
(
)
Elektronenstrahl
;
GaAs-Technologie
;
HEMT
;
Lithographie
;
MMIC
;
MODFET
:
http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-57719.html
