Studie ueber den Stand der Technik und zukuenftige Anforderungen an Fertigungseinrichtunen zur Herstellung von Halbleiterbauelementen unter Beruecksichtigungen verschiedener Herstellungsverfahren
Author(s)
Aderhold, W.
Fruehauf, W.
Herz, R.
Kahlden, T. von
Pfitzner, L.
Ryssel, H.
Sauter, K.-D.
Schmutz, W.
Schraft, R.D.
Organisation
Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung -IPA-, Stuttgart