
Publica
Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten. Studie ueber den Stand der Technik und zukuenftige Anforderungen an Fertigungseinrichtunen zur Herstellung von Halbleiterbauelementen unter Beruecksichtigungen verschiedener Herstellungsverfahren
: Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung -IPA-, Stuttgart