Studie ueber den Stand der Technik und zukuenftige Anforderungen an Fertigungseinrichtunen zur Herstellung von Halbleiterbauelementen unter Beruecksichtigungen verschiedener Herstellungsverfahren
Author(s)
Aderhold, W.
Fruehauf, W.
Herz, R.
Kahlden, T. von
Pfitzner, L.
Ryssel, H.
Sauter, K.-D.
Schmutz, W.
Schraft, R.D.
Corporate Author
Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung -IPA-, Stuttgart
