Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Studie ueber den Stand der Technik und zukuenftige Anforderungen an Fertigungseinrichtunen zur Herstellung von Halbleiterbauelementen unter Beruecksichtigungen verschiedener Herstellungsverfahren

 
: Aderhold, W.; Fruehauf, W.; Herz, R.; Kahlden, T. von; Pfitzner, L.; Ryssel, H.; Sauter, K.-D.; Schmutz, W.; Schraft, R.D.
: Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung -IPA-, Stuttgart

Stuttgart, 1986
German
Study
Fraunhofer IPA ()
Berücksichtigung; Fertigungseinrichtung; Halbleiterbauelement; Herstellung; Herstellungsverfahren; Studie; Technik; zukünftige Anforderung

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-57199.html