Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Studie über den Stand der Technik und zukünftige Anforderungen an Fertigungseinrichtungen zur Herstellung von Halbleiterbauelementen unter Berücksichtigung verschiedener Herstellungsverfahren

: Aderhold, W.; Frühauf, W.; Herz, R.; Kahlden, T. von; Pfitzner, L.; Ryssel, H.; Sauter, K.-D.; Schmutz, W.; Schraft, R.D.

: Fraunhofer-Arbeitsgruppe für Integrierte Schaltungen, Abteilung für Bauelementtechnologie -AIS-B-, Erlangen; Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung -IPA-, Stuttgart

	Erlangen, 1987, 354 pp. : Abb.,Lit.

	German
	Study
	Fraunhofer IIS B ( IISB) ()
	Automatisierung; Equipmentindustrie; Fertigungstechnik für Halbleiter; Halbleiterequipment; Halbleiterfertigung; Halbleiterfertigungsgerät; Halbleiterfertigungskonzept; Halbleiterproduktionsequipment; Halbleiterproduktionsgerät; kuenftige Anforderung; Prozeßentwicklung; Stand der Technik

Abstract
In dieser Studie wird der Stand der Technik bei der Halbleiterherstellung aus prozesstechnischer und fertigungstechnischer Sicht dargestellt und erstmals unter fertigungstechnischen Gesichtspunkten strukturiert und systematisiert. Die Ergebnisse stuetzen sich auf umfangreiche Recherchen bei deutschen und internationalen Halbleiterherstellern, Equipmentherstellern und Instituten. Die kuenftigen Anforderungen an Halbleiterproduktionsequipment werden aufgezeigt und daraus Ansaetze fuer erfolgversprechende kuenftige Entwicklungen sowie weitere Massnahmen abgeleitet, die zu einer verbesserten Konkurrenzfaehigkeit der deutschen Equipmentindustrie auf dem internationalen Markt fuehren sollen. (AIS-B)

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-57196.html