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Fraunhofer-Gesellschaft
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  4. Studie über den Stand der Technik und zukünftige Anforderungen an Fertigungseinrichtungen zur Herstellung von Halbleiterbauelementen unter Berücksichtigung verschiedener Herstellungsverfahren
 
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1987
Study
Title

Studie über den Stand der Technik und zukünftige Anforderungen an Fertigungseinrichtungen zur Herstellung von Halbleiterbauelementen unter Berücksichtigung verschiedener Herstellungsverfahren

Abstract
In dieser Studie wird der Stand der Technik bei der Halbleiterherstellung aus prozesstechnischer und fertigungstechnischer Sicht dargestellt und erstmals unter fertigungstechnischen Gesichtspunkten strukturiert und systematisiert. Die Ergebnisse stuetzen sich auf umfangreiche Recherchen bei deutschen und internationalen Halbleiterherstellern, Equipmentherstellern und Instituten. Die kuenftigen Anforderungen an Halbleiterproduktionsequipment werden aufgezeigt und daraus Ansaetze fuer erfolgversprechende kuenftige Entwicklungen sowie weitere Massnahmen abgeleitet, die zu einer verbesserten Konkurrenzfaehigkeit der deutschen Equipmentindustrie auf dem internationalen Markt fuehren sollen. (AIS-B)
Author(s)
Aderhold, W.
Frühauf, W.
Herz, R.
Kahlden, T. von
Pfitzner, L.
Ryssel, H.
Sauter, K.-D.
Schmutz, W.
Schraft, R.D.
Corporate Author
Fraunhofer-Arbeitsgruppe für Integrierte Schaltungen, Abteilung für Bauelementtechnologie -AIS-B-, Erlangen
Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung -IPA-, Stuttgart
Language
German
IIS-B  
Keyword(s)
  • Automatisierung

  • Equipmentindustrie

  • Fertigungstechnik für Halbleiter

  • Halbleiterequipment

  • Halbleiterfertigung

  • Halbleiterfertigungsgerät

  • Halbleiterfertigungskonzept

  • Halbleiterproduktionsequipment

  • Halbleiterproduktionsgerät

  • kuenftige Anforderung

  • Prozeßentwicklung

  • Stand der Technik

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