Options
1998
Conference Proceeding
Titel
Smart Fabrication Flexible Fab 1998
Titel Supplements
Workshop, 25. und 26. Juni 1998 in Tabarz/Thüringen
Alternative
Neue Produktionskonzepte für die Halbleiterfertigung 1998
Organisation
Meissner & Wurst GmbH
Submicron Semiconductor Technologies GmbH
Jenoptik AG, Jena
Fraunhofer-Institut für Integrierte Schaltungen -IIS-, Erlangen
Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung -IPA-, Stuttgart
Thesys Gesellschaft für Mikroelektronik, Erfurt
Language
German