Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Simulation von Implantationsprofilen mit Methoden der Transporttheorie

 
: Barthel, A.
: Ryssel, H.

Aachen: Shaker, 1996, II, 138, 17 pp. : Ill.
Zugl.: Erlangen-Nürnberg, Univ., Diss., 1996
Erlanger Berichte Mikroelektronik, 96,1
ISBN: 3-8265-1672-9
German
Dissertation
Fraunhofer IIS B ( IISB) ()
Boltzmann-Gleichung; Finite-Elemente-Methode (FEM); galerkinsches Verfahren; Halbleiterbauelement; Ionenimplantation; Transportprozeß

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-56617.html