Simulation analoger elektromechanischer Mikrosysteme und des Verhaltens von elektrothermischen Bauelementen unter Verwendung eines automatisch generierten vereinheitlichten Modells

In der vorliegenden Arbeit wird das Verfahren der Modelltransformation vorgestellt, bei dem nichtelektrische Modelle auf eine elektrisch äquivalente Ersatzschaltung abgebildet werden. Die nichtelektrischen Modelle können mittels algebraischer Gleichungen, gewöhnlicher und partieller Differentialgleichungen formuliert werden. Zunächst werden beim Transformationsvorgang die partiellen Differentialgleichungen unter Verwendung der Methode der finiten Differenzen in einen Satz von gewöhnlichen Differentialgleichungen überführt. Die Differentialgleichungen ihrerseits und die algebraischen Gleichungen lassen sich dann mit Integrierern, Differenzierern und nichtlinear gesteuerten Spannungs- und Stromquellen abbilden. Die Transformationen sind darüber hinaus weitestgehend automatisiert und in einem CAD-Werkzeug zusammengefaßt.