Fraunhofer-Gesellschaft

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Barkhausenrausch- und Wirbelstrommikroskopie zur Werkstoffcharakterisierung und Eigenspannungsmessung im Mikrometer-Bereich

 

Deutsche Gesellschaft für Zerstörungsfreie Prüfung e.V. -DGZfP-, Berlin:
ZfP als Dienstleistung in einer veränderten Industriestruktur. Jahrestagung 1997 Zerstörungsfreie Materialprüfung. Band 1: Vorträge
Berlin: Deutsche Gesellschaft für zerstörungsfreie Prüfung (DGZfP), 1997 (DGZfP-Berichtsbände 59,1)
ISBN: 3-931381-16-1
pp.393-400
Jahrestagung Zerstörungsfreie Materialprüfung <1997, Dresden>
German
Conference Paper
Fraunhofer IZFP ()
Barkhausen microscopy; Barkhausen-Mikroskopie; eddy current microscopy; Eigenspannungsmessung; Werkstoffcharakterisierung; Wirbelstrom-Mikroskopie

Abstract
Am Fraunhofer-Institut für zerstörungsfreie Prüfverfahren wurde ein Barkhausenrausch- und Wirbelstrommikorskop aufgebaut und erprobt. Durch eine geeignete hochauflösende Sensorik, die in Zusammenarbeit mit einem mittelständischen Unternehmen entwickelt wurde, werden Ortsauflösungen von einigen µm erreicht. Es wurden für die Sensoren Wirkbreiten zwischen 10 und 100 µm gemessen, jedoch konnten an Testkörpern auch noch Strukturen bis zu 2 µm nachgewiesen werden. Die entwickelte Meßtechnik eröffnet prinzipiell neue Möglichkeiten zur Werkstoffcharakterisierung im Berich der Mikrosystemtechnik, insbesondere zur Messung von Gefüge- und Eigenspannungszustand ferromagnetischer Schichten. Eine hochpräzise Scan-Technik ermöglicht eine Abbildung von flächigen Strukturen mit Pixel-Abständen bis zu 1 µm. Erprobt wurde die Technik auch bereits zur Erkennung von Mikrorissen sowie zur Vermessung von Eigenspannungsfeldern infolge lokaler thermischer Bearbeitung und im Bereich von Rißspitzen. Die Leistun gsfähigkeit des Mikroskops wird am Beispiel verschiedener Anwendungsfälle aufgezeigt.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-5591.html