Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Reinraumtechnik '97: Qualifizierung und Überwachung. Reinraum und Reinstmedien

Tagung 15.und 16. September 1997, Fulda
 
: VDI-Gesellschaft Technische Gebäudeausrüstung; Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung -IPA-, Stuttgart

Düsseldorf: VDI Verlag, 1997, 196 pp.
VDI-Berichte, 1342
Tagung Reinraumtechnik <1997, Fulda>
ISBN: 3-18-091342-8
German
Conference Proceedings
Fraunhofer IPA ()
Qualifizierung; Reinraum; Reinraumtechnik; Reinstmedien

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-55766.html