Publica

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Backside membrane structures for ISFETs applied in miniature analysis systems

Siehe auch: Sensors and Actuators B

: Pham, M.T.; Howitz, S.; Kunath, C.; Kurth, E.; Köhler, R.

	Giber, J.; Göpel, W.; Holmes, I.L.; Horvai, G.; Meixner, H.; Timar-Horvath, V. ; Budapesti Müszaki Egyetem, Eötvös Lorand Fizikai Tarsulat: Eurosensors VII. Book of Abstracts Budapest, 1993 pp.333-335
	Eurosensors <7, 1993, Budapest>

	English
	Conference Paper
	Fraunhofer IMS, Außenstelle Dresden ( IPMS) ()
	chemischer sensor; Fluidischer Aufnehmer; ISFET; Membran; sensor; SiliciumMembran

Abstract
Coupling ISFETs to micro fluid systems, e.g. Si-based FIA, requires other technologies than packaging and encapsulation of single ISFETs. Backside membrane structures are fabricated to make possible an assembly using IC microfabrication technologies.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-5545.html