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Abschlussarbeit
Polykristalline Diamantschichten für elektronische Anwendungen
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1996
Doctoral Thesis
Title
Polykristalline Diamantschichten für elektronische Anwendungen
Thesis Note
Hamburg, Univ., Diss., 1996
Author(s)
Boettger, E.
Language
German
Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik IST
Keyword(s)
Diamant
dünne Schicht
elektrische Stoffeigenschaft
Mikrostruktur
PECVD-Verfahren
Polykristall