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Fraunhofer-Gesellschaft
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  4. Polykristalline Diamantschichten für elektronische Anwendungen
 
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1996
Doctoral Thesis
Title

Polykristalline Diamantschichten für elektronische Anwendungen

Thesis Note
Hamburg, Univ., Diss., 1996
Author(s)
Boettger, E.
Language
German
Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik IST  
Keyword(s)
  • Diamant

  • dünne Schicht

  • elektrische Stoffeigenschaft

  • Mikrostruktur

  • PECVD-Verfahren

  • Polykristall

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