Plasmamodifikation von Kunststoffoberflächen zur Haftfestigkeitssteigerung von Metallschichten

Niederdruckplasmen zeichnen sich durch eine gute Umweltverträglichkeit aus. Durch die Plasmamodifikation wird insbesondere die Haftfestigkeit nachfolgend aufgebrachter Schichten gesteigert, von der die Funktionalität der Bauteile zumeist in entscheidendem Maße abhängig ist. Durch die steigenden Anforderungen an die Haftfestigkeit aufgebrachter Schichten gewinnt eine optimale Prozeßführung für die Plasmamodifikation zunehmend an Bedeutung. Die Arbeit befaßt sich mit den Einflüssen industriell relevanter Prozeßgrößen auf das Ergebnis der Plasmamodifikation. Der Einfluß dieser Prozeßgrößen wird anhand verschiedener Kunststoffe und Ätzgassysteme untersucht und diskutiert. Die Art der Modifikation der Kunststoffoberflächen wird charakterisiert und deren Einfluß auf die Haftfestigkeit anhand nachfolgend aufgebrachter Metallschichten dargestellt.