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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten. Mikrostrukturiertes Sensorsubstrat für ultradünne Schichten
: Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme -IMS-, Duisburg
| Duisburg, 1993, 1 pp. : Abb.
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