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Mikrostrukturiertes Sensorsubstrat für ultradünne Schichten
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1993
Book
Title
Mikrostrukturiertes Sensorsubstrat für ultradünne Schichten
Author(s)
Mokwa, Wilfried
Werno, J.
Corporate Author
Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme -IMS-, Duisburg
Language
German
Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme IMS
