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Mikrostruktur und Mikrotribologie von amorphen metallhaltigen Kohlenwasserstoffschichten

 
: Schiffmann, K.I.

Stuttgart: Fraunhofer IRB Verlag, 1997, IX, 144 pp. : Ill.
Zugl.: Hamburg, Univ., Diss., 1997
Berichte aus Forschung und Entwicklung, 1
ISBN: 3-8167-5141-5
ISBN: 978-3-8167-5141-0
German
Dissertation
Fraunhofer IST ()
Kohlenwasserstoff-Schicht; Mikrostruktur; Tribologie

Abstract
Metallhaltige amorphe Kohlenwasserstoffschichten (Me-C:H) bestehen aus einem Kohlenwasserstoff-Basismaterial, in welches metallische Partikel von wenigen Nanometern Größe eingelagert sind. Aufgrund ihrer ausgezeichneten mechanisch-tribologische Eigenschaften werden sie industriell als reibungs- und verschleißmindernde Schichten auf Bauteilen, Lagern, Werkzeugen etc. eingesetzt. n der Forschungsarbeit wird am Beispiel verschiedener Me-C:H Schichten gezeigt, wie mit Hilfe der Rastertunnelmikroskopie (STM) quantitative Informationen über Größen- und Abstandsverteilungen von Nanopartikeln in dünnen Schichten erlangt werden können. Die Ergebnisse werden verglichen mit Untersuchungen mittels Transmissions-Elektronenmikroskopie (TEM), Röntgenkleinwinkel- und Röntgenweitwinkelstreuung (SAXS, XRD). Darüber hinaus wurden mit Hilfe des Rasterkraftmikroskopes (AFM) mikrotribologische Untersuchungen an Me-C:H Schichten durchgeführt. Sie zeigen den Einfluß der Schicht-Mikrostruktur (Nanopartikel, Wachstumssäulen) auf Reibung und Verschleiß und belegen die Bedeutung der Materialermüdung bei Verschleißprozessen. Es werden Modelle vorgestellt, mit denen Reibungs- und Verschleißmessungen auf der Mikroskala quantitativ beschrieben werden können.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-53023.html