Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Mikroproduktionstechnik im Großkammer-Rasterelektronenmikroskop

 
: Hümmler, J.

Aachen: Shaker, 1998, VI, 141 pp. : Ill.
Zugl.: Aachen, TH, Diss., 1998
Berichte aus der Produktionstechnik, 98,12
ISBN: 3-8265-3840-4
German
Dissertation
Fraunhofer IPT ()
Fertigungstechnik; Mikrosystemtechnik; Rasterelektronenmikroskop; Visualisierung

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-53021.html