Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Mikrofabrikationstechniken für Mikrosysteme

1. Statusseminar am 13.Juni 1995, Stuttgart
 
: Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung -IPA-, Stuttgart

Stuttgart, 1995, Getr. Zählung
Statusseminar Mikrofabrikationstechniken für Mikrosysteme <1, 1995, Stuttgart>
German
Conference Proceedings
Fraunhofer IPA ()
Mikrofabrikationstechnik; Mikrosystem; Mikrosystemtechnik; Mikrotechnik

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-53015.html