Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Mikrodrucksensoren in Siliziumtechnologie

 
: Mokwa, W.; Dudaicevs, H.
: Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme -IMS-, Duisburg

Duisburg, 1993, 1 pp. : Abb.
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Fraunhofer IMS ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-52984.html