Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Automated material handling for defect reduction

 
: Fruehauf, W.; Geissinger, J.; Sauter, K.-D.; Schmutz, W.

Semiconductor Equipment and Materials International -SEMI-, San Jose/Calif.:
SEMICON Europa '87. Technical Proceedings
Mountain View, 1987
pp.175-184 : Abb.
Semicon Europa <1987, Zürich>
English
Conference Paper
Fraunhofer IPA ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-5193.html