Fraunhofer-Gesellschaft

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Autofokus- und Tastnadelverfahren im Vergleich

 
: Risse, S.; Gebhardt, A.; Lude, C.

Dietzsch, M. ; TU Chemnitz-Zwickau, Institut für Fertigungsmeßtechnik und Qualitätssicherung:
IX. Internationales Oberflächenkolloquium 1996. Poster
Chemnitz: Univ. Chemnitz-Zwickau, 1996
Internationales Oberflächenkolloquium <9, 1996, Chemnitz>
German
Conference Paper
Fraunhofer IOF ()

Abstract
Die Vielzahl von Werkstückgeometrien und eingesetzten Materialien insbesondere in der Feinwerktechnik erfordert schnelle, genau und zuverlässige Rauheits- und Formmeßverfahren, die den industriellen Anforderungen gerecht werden. Dabei kann nicht jedes Meßverfahren für alle auftretenden Meßaufgaben eingesetzt werden bzw. ist nur für spezielle Einsatzfälle geeignet. Häufig besteht die Forderung, die mit unterschiedlichen Meßverfahren ermittelten Kenngrößen zu vergleichen und auf ihre Aussagekraft zu bewerten. Ein Vergleich von optischen und mechanischen Tastschnittverfahren wird an Hand von 2-D und 3-D Messungen vorgestellt. Als Meßgeräte wurden ein optisches Profilometer nach dem Meßprinzip der dynamischen Fokussierung und ein mechanisches Profilometer mit Laser-Interferometer-Wandler eingesetzt. Es erfolgt eine Vorstellung der Meßverfahren, sowie eine Untersuchung und Vergleich der Meßgeräte (Auflösung, Meßbereich, Rauschen, Einlaufverhalten u.a.). Effekte, die das Meßergebnis beeinflu ssen wie z.B. Auftreten von Profilüberhöhungen, Differentiation durch begrenzte Nachregelfrequenz, Einfluß des Reflektionsgrades, Beeinflussung der Oberfläche durch Auflagekraft, Tastnadel-/Laserspott-Einfluß, Wiedergabegenauigkeit u.a., werden vorgestellt und diskutiert. An ausgewählten Meßobjekten werden Schlußfolgerungen und Ergebnisse präsentiert.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-5175.html