: Warnecke, H.-J.; Degenhart, E.

Abstract
Es ist unerläßlich, daß Baugruppen in Fertigungsanlagen zur Herstellung von Reinraum-Produkten, insbesondere Handhabungs- und Transporteinrichtungen, unter Berücksichtigung strömungstechnischer Gesichtspunkte ausgelegt und in die Gesamtanlage integriert werden. Dadurch läßt sich die für das Produkt bestehende Kontaminationsgefahr stark herabsetzen und somit die Reinraumtauglichkeit der Gesamtanlage verbessern.