Fraunhofer-Gesellschaft

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Ausbeute-Zuverlässigkeits-Korrelation für Leitbahnsysteme in hochintegrierten Schaltungen

 
: Dreizner, A.; Kück, H.; Lukat, K.; Pahlitzsch, J.

Barke, E. ; VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik -GME-:
Mikroelektronik '95 : Vorträge der GME-Fachtagung
Berlin: VDE-Verlag, 1995 (GME-Fachbericht 15)
ISBN: 3-8007-2085-X
pp.127-132
VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik (Fachtagung) <1995, Baden-Baden>
German
Conference Paper
Fraunhofer IMS, Außenstelle Dresden ( IPMS) ()
Ausbeute; Ausfallwahrscheinlichkeit; Elektromigration; Fehlersimulation; Metallisieren; Unterbrechung; Zuverlässigkeit

Abstract
Es wurden Software-Tools zur layoutbezogenen Vorhersage der Ausbeute von Metallisierungsebenen unter Berücksichtigung von prozeßtypischen Defektdaten vorgestellt. Neben ausbeutemindernden Defekten können auch durch Defekte induzierte Leitbahneinengungen in die Simulationsrechnungen einbezogen werden. Daraus ergibt sich ein möglicher Zugang zur Vorhersage des Frühausfallrisikos durch Elektromigrationsprozesse. Der Zusammenhang zwischen der Defektgeometrie, der Kornstruktur der Leitbahnmetallisierung und der Ausfallzeitverteilung nach Elektromigrationsprozessen bedarf noch weiterer Untersuchungen.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-5014.html