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1995
Report
Titel
In-situ Messung der optischen Emission des Plasmas und deren Korrelation zu Schichteigenschaften beim reaktiven Magnetronsputern
Titel Supplements
BMFT-Fördervorhaben 13N6162. Abschlussbericht. Berichtszeitraum: 01.06.1993-31.08.1994
Alternative
In-situ measurement of the optical emission of the plasma and their correlation to layer properties at reactive magnetron sputter processes