Fraunhofer-Gesellschaft

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Aufbau- und Verbindungstechnik mikrooptischer Systeme

 
: Guyenot, V.; Eberhardt, R.; Tittelbach, G.

Dötzel, W. ; TU Chemnitz-Zwickau:
Mikro-System-Technik Chemnitz '95. Mikromechanik und Mikroelektronik
Chemnitz: TU, 1995
pp.316-325
Chemnitzer Fachtagung Mikrosystemtechnik, Mikromechanik und Mikroelektronik <2, 1995, Chemnitz>
German
Conference Paper
Fraunhofer IOF ()
assembling; Aufbautechnik; Greifer; handling; Kleben; micro-optical component; Mikrobauteil; Mikromontage; Mikrooptik; Verbindungstechnik

Abstract
Das größte Hindernis für weitere Applikationen von Mikrooptiken (MO) ist die Uneffektivität des Montageprozesses der Aufbau- und Verbindungstechnik (AVT). Know-how aus verwandten Gebieten wie der Mikroelektronik und der konventionellen Optik ist nur teilweise transferierbar. Einige Grundfunktionen sind zu realisieren: Kollimation und Einkopplung von Licht in eine Faser; Strahlformung eines Lichtbündels; positionsgenauer Einbau von Reflektoren, Deflektoren, Schaltern, Linsenarrays und Empfängern. Einsatzmöglichkeiten eines Präzisionsroboters mit zugehöriger Greiftechnik sowie die Darstellung und Applikation kleinster Klebstoffvolumina werden diskutiert. Die Ergebnisse sind wie folgt zusammenzufassen: I. Dosierspritzen sind für Dosierungen in der Mikrooptik nur sehr bedingt geeignet, für Abtropfvolumina < 100 nl wären Kanüleninnendurchmesser < 6 mm notwendig (schwierige Handhabbarkeit). II. Kleinere Volumina (bis in Bereich von 30 Pikoliter) werden mittels Stempeltransfertechnik sowie be im Fadeninken durch gehemmtes Abfließen erreicht. III. Mit Piezodruckkopfverfahren lassen sich Einzeltropfen mit Volumina von 20 pl mit Wasser und 50 pl mit UV-Klebstoffen ausbringen. IV. Ein bemerkenswertes Ergebnis ist die Darstellung sehr gleichmäßiger Tropfen nach dem dod-Verfahren. Die Reproduzierbarkeit der Tropfengröße konnte auf < 1 Prozent nachgewiesen werden.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-4873.html