Fraunhofer-Gesellschaft

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Auf dem Weg zu superharten Oberflächen

Breites Anwendungsspektrum für superharte Schichten aus Diamant und kubischen Bornitrid
 
: Schäfer, L.

Technica 44 (1995), No.4, pp.28-33
ISSN: 0040-0866
ISSN: 0184-4067
German
Journal Article
Fraunhofer IST ()
cubic boron nitride film; cutting tool; Diamantelektronik; Diamantschicht; diamond electronic; diamond film; heteroepitaxial growth; Heteroepitaxie; insulation film; Isolationsschicht; optische Schutzschicht; protective optical coating; Schichten aus kubischem Bornitrid; Schneidwerkzeug; thermal conductivity; Verschleißschutz; Wärmeleitung; wear resistant coating

Abstract
Die ursprünglich in der Mikroelektronik entwickelten Verfahren der aktivierten chemischen beziehungsweise der physikalischen Abscheidung von Schichten aus der Gasphase wurden in den letzten Jahren auch für Anwendungsbereiche außerhalb der Elektronik eingesetzt. Die mit diesen Beschichtungsverfahren synthetisierten Materialien Diamant und kubisches Bornitrid sind dabei wegen der Kombination einer Reihe extremer Eigenschaften von besonderem Interesse für eine Vielzahl von Anwendungen in den Bereichen Mechanik, Elektronik und Optik. Die Erweiterung der Schichttechnologie auf die Synthese dieser superharten Materialien trägt damit zu einer Erhöhung der Leistungsfähigkeit und Zuverlässigkeit von Werkzeugen und Bauteilen bei. Dadurch kann den steigenden Anforderungen an technische Bauteile und Systeme begegnet werden.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-4836.html