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Formprüfung allgemeiner asphärischer Oberflächen durch Interferometrie mit synthetischen Hologrammen und Mehrwellenlängeninterferometrie

 
: Tutsch, R.

Aachen: Shaker, 1994
Zugl.: Aachen, TH, Diss., 1994
Berichte aus der Produktionstechnik, 94,29
ISBN: 3-8265-0327-9
German
Dissertation
Fraunhofer IPT ()
Asphärenprüfung; asphärische Optik; Interferometrie; interferometrische Formprüfung; Mehrwellenlängeninterferometrie; Optikprüfung; optische Meßtechnik; synthetisches Hologramm; Ultrapräzisionstechnik; Zweiwellenlängen-Interferometrie

Abstract
Zielsetzung ist die Untersuchung von Meßverfahren für die Formprüfung generalisierter asphärischer Präzisionsoberflächen, die Unstetigkeiten im Oberflächenprofil (Stufen) oder in der ersten Ableitung der dem Profil zugrundeliegenden Funktion (Kanten) aufweisen können. Eine Analyse und Aufarbeitung des Standes der Technik, führt auf zwei Lösungsansätze für die gestellte Aufgabe: Die interferometrische Formprüfung mit synthetischen Hologrammen und die Mehrwellenlängeninterferometrie. Die Grenzen des Meßbereichs der konventionellen Interferometer werden analysiert Für einen speziellen Interferometeraufbau wird in Seidelscher Näherung eine Analyse der optischen Aberrationen durchgeführt und ein Ansatz zur Korrektur der dadurch verursachten Meßfehler erarbeitet. Dieser Algorithmus ist universell für alle gebr äuchlichen Interferometertypen anwendbar. Eine grundlegende Erkenntnis der durchgeführten Fehleranalyse besteht darin, daßder asphärische Prüfling selbst als wesentliche Komponente des Meßsystems betrachtet werden muß. Für die experimentellen Untersuchungen wurde ein modulares Fizeau Interferometer konzipiert und in unterschiedlichen Modifikationen sowohl für die Anwendung von synthetischen Hologrammen als auch fü r den Einsatz der Mehrwellenlängentechnik aufgebaut. Die gestellte Aufgabe der Erfassung generalisierter asphärischer Oberflächen mit Kanten und Stufen mit einer Meßunsicherheit im sub-mym-Bereich kann nur durch eine Kombination beider Verfahren in einem Interferometer mit rechnergestützter Fehlerkorrektur gelöst werden.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-47889.html